《表1 碳化硅磨削实验工艺参数列表》

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《碳化硅陶瓷超声振动辅助精密磨削实验研究》

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实验试件为50 mm×50 mm×10 mm的无压烧结碳化硅（S SiC），碳化硅磨削前的表面形貌如图2所示，磨削前的表面粗糙度为Ra=0.4μm。使用的磨削工具为树脂结合剂烧结金刚石砂轮，砂轮直径为准12 mm，宽度为10 mm，磨粒粒度号为240#，平均粒径为57μm，浓度为125%。砂轮实验前用800#的白刚玉油石修整。磨削时使用水溶性切削油进行冷却。如图3(a）所示，通过多普勒激光测振仪对砂轮末段端面的谐振频率和振幅进行检测。如图3(b）所示，由于砂轮末端端面与测振仪光纤头的光束垂直，光纤头的光斑无法聚焦在砂轮末段端面上，因此需要使用平面镜改变光路方向，完成对砂轮末端谐振频率与振幅的测量。实验中的砂轮杆伸出长度固定为20 mm，此时测得谐振率f在26 400～26 500 Hz之间，实验中的其他参数如表1所列。