《表1 磨削实验参数：氮化硅陶瓷磨削热特性与表面成形机制》

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《氮化硅陶瓷磨削热特性与表面成形机制》

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磨削温度作为磨削热的重要表征，与工件材料、砂轮、冷却条件和磨削参数有密切关系，而磨削力作为影响磨削区热流密度的重要指标，对热量分配有着重要影响，因此实验对磨削区总温度和磨削力进行同时测量。实验试件为先将两块尺寸为20 mm×20 mm×10 mm的氮化硅陶瓷块的20 mm×20 mm面研磨抛光后，再将特制的超薄K型热电偶夹片放入两个抛光面之间，用耐高温和导热性好的云石胶固定24 h后装夹。平面力与温度的测量采用Kistler9257B三向平面测力仪和K型热电偶多通路测温仪，如图2所示。实验在由德国柯尔柏斯来福临生产制造的BLOHM Orbit 36精密平面磨床上进行，采用树脂结合剂砂轮（D91）进行磨削。磨削表面粗糙度和表面形貌由Taylor Hobson公司的Surtron-ic25型粗糙度仪和S-4800冷场发射电子扫描显微镜检测，实验在干磨下进行，具体实验参数如表1。