《表1 磨削实验参数：氮化硅陶瓷磨削表面质量的建模与预测》

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《氮化硅陶瓷磨削表面质量的建模与预测》

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本实验在由德国柯尔柏斯来福临生产制造的BLOHM Orbit 36精密平面磨床上进行，机床主轴功率为8.5 kW，最大转速为5000 r/min，最低分辨率为0.001 mm。试件为热等静压氮化硅陶瓷块；检测磨削后表面粗糙度和表面形貌为Taylor Hobson公司的Surtron-ic25型粗糙度仪和S-4800冷场发射电子扫描显微镜，如图5所示，实验采用湿磨，具体实验参数如表1所示。