《表2 磨削性能参数：氮化硅陶瓷磨削热特性与表面成形机制》

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《氮化硅陶瓷磨削热特性与表面成形机制》

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不同磨削参数下得出的磨削性能参数如表2所示。由表2与图5可知，粗糙度值随温度的增加，先减小后增大，去除方式以塑性变形的方式向脆性断裂转变。磨削区温度在489～662℃之间，表面粗糙度值较小，表面形貌更光滑，塑性变形比例更多。696℃后，表面以脆性断裂的方式去除，随温度的增加，脆性断裂比例增加，在800℃之后，表面出现热裂纹，且热裂纹的宽度随温度的升高由362 nm增加到377 nm。出现以上现象的原因是，随着温度的升高，传入工件的热量也增加，使材料表面发生软化，增加其断裂韧性[1，15，17-19]，由硬脆材料的延脆性转变临界切深hc和最大未变形切屑厚度hmax[20]可知，高温使材料断裂韧性KIC提高，增大了转变的临界切深，使表面塑性去除的比例增加，表面质量变好。而随着温度的继续升高，陶瓷导热性差，在磨削表面，温度变化幅度较大，极易产生热压应力σst[21]。磨削温度升高，温度变化幅度?T增大，热压应力增大，当热压应力σst值超过材料的断裂极限值σf时，表面则产生热裂纹，其关系式如式（17）—（19）所示。同时由表2和式（1）可知，磨削时，切向磨削力Ft的增加会导致磨削区温度（热流密度）与传入工件的热量增加，但磨削区的热流密度与切向磨削力Ft、磨削参数vs和接触弧长lc都存在关系，是一个复杂的影响过程，因此力与温度线性变化趋势不明显。