《表1 正交实验表：氮化硅陶瓷磨削温度特性与表面质量研究》

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《氮化硅陶瓷磨削温度特性与表面质量研究》

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在ABAQUS仿真软件中采用Drucker-Prager模型，建立干/湿磨两种条件下的单颗金刚石磨粒磨削氮化硅块的三维应力与温度模型。氮化硅陶瓷块为长200μm、宽160μm、高100μm的长方体，网格为C3D8RT，八节点热耦合六面体网格；金刚石磨粒为高60μm、圆弧半径15μm、锥角80°的椎体，网格为C3D4T，四节点热耦合四面体网格。磨粒和陶瓷块的相互作用有法向行为、切向行为、传热、导热以及生热，三维模型如图1（a）所示。磨削时的初始温度为294.15 K，即21℃，对于不同的九组磨削参数进行干/湿磨对比仿真，磨削参数如表1所示。