《表3 止推轴承参数：大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究》

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《大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究》

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图4为止推轴承结构示意图，在实际结构中，止推轴承由上、下止推轴承和中间的止推板构成，由于是对称结构，现取其中一个止推轴承进行研究。表2为下文公式推导过程中的符号代表的物理量，表3为止推轴承结构参数。