《表1 气浮轴承参数表：基于有限元的超精密空气静压主轴最佳综合刚度设计》

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《基于有限元的超精密空气静压主轴最佳综合刚度设计》

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止推中置的结构形式期望可以增大刚度，但具体的刚度值，需要进行分析计算。本文所使用的小孔节流空气静压轴承的刚度值，利用空气静压轴承的工程计算公式计算得到[3][4]，如表1所示。气浮主轴采用inventor进行实体建模，导入到ansys workbench有限元分析软件中进行分析，主轴与轴套之间气浮轴承，利用combin14弹簧单元模拟，弹簧刚度值选用表1中的数据，分析设定边界条件如下：主轴轴套端面固定；并在主轴鼻端处加力载荷F（设定固定值100N），如图5所示；其它零件之间利用接触绑定。软件分析可得到主轴鼻端处的变形δ，利用公式K=F/δ，计算得到主轴鼻端刚度K。下面根据上述分析过程，分多种结构参数进行分析。