《表2 纳米加工工艺参数：基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计》

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《基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计》

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基于所设计的纳米定位工作台，利用金刚石刀具进行了切削加工实验。表2为纳米加工工艺参数，图9为纳米加工过程中的切削力和跟踪误差。虽然在加工的起点和终点，Y轴上的跟踪误差出现瞬时增加，但通过干扰观测器对切削力进行估算并反馈，可实现加工过程中X轴上的跟踪误差小于±2 nm，Y轴上的跟踪误差小于±5 nm。