《表1 划痕实验参数：基于纳米划痕仪的单晶锗纳米沟槽加工实验研究》

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《基于纳米划痕仪的单晶锗纳米沟槽加工实验研究》

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实验所用的纳米划痕仪，其位移分辨率为0.01 nm，载荷分辨率为0.02μN，实验中采用圆弧曲率半径为2μm的金刚石针尖在单晶锗抛光面上刻划出多条长度均为200μm的纳米沟槽。实验设定不同的垂直载荷、切削速度及刻划次数，研究这些参数对单晶锗纳米沟槽表面形貌的影响机制及作用机理。其具体参数设定如表1所示。