《表1 划痕实验参数：基于纳米划痕的单晶锗脆塑转变实验研究》

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《基于纳米划痕的单晶锗脆塑转变实验研究》

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纳米划痕实验在美国Aglien公司生产的Nano indenter G200纳米压痕仪上进行。采用曲率半径为50nm的Berkovich金刚石针尖，分别取3种不同晶面的单晶锗片（100）、（110）和（111）。划痕实验参数如表1所示。