《表1 划痕测试过程中涂层应力有限元分析所用的材料参数》

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《AlTiN涂层合金划痕测试的失效形式及其失效机理的有限元分析》

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对Co W模型合金，采用纳米压痕法，测量其纳米压痕硬度HV20 mN和杨氏模量，分别为7.0 GPa（相当于714 kgf/mm2）和250 GPa。Roa等[18]参考WC-Co合金中粘结相的基本成分，设计制备了87.03Co-12.25W-0.27C-0.45Im（质量分数，Im杂质元素）钴基固溶体模型合金，采用纳米压痕法测量合金的硬度和杨氏模量，其结果分别为4.8±0.2 GPa和230±7 GPa。本研究Co W模型合金的成分为85.1Co-9.2W-4.7Cr3C2-1.0VC，与ROA等[18]的研究对象存在成分差异，因此也存在性能差异。对b WC模型合金，根据参考文献[19]，取Mo2C和WC的杨氏模量分别为400和714GPa，泊松比分别为0.28和0.20。根据合金成分，采用Vogit模型[20]计算，获得b WC合金的杨氏模量和泊松比。10Co合金实体模型中硬质相和粘结相分别采用WC和Co W合金的性能参数。模拟所用的材料性能参数如表1所列。划痕仿真中球形压头半径为50μm，材质为金刚石，杨氏模量为1 140 GPa，泊松比为0.007[21]，模拟中简化成解析刚体。