《表1 薄膜尺寸参数：摩擦纳米发电机表面织构的优化设计》

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《摩擦纳米发电机表面织构的优化设计》

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制备织构化PDMS薄膜主要包括硅模板的制备及复型两大步骤。其中，硅模板为具有指定宽度、高度及面密度的倒棱锥凹坑阵列图形的母模板，主要采用热氧化、光学光刻以及氢氧化钾湿法刻蚀等工艺进行制备；而复型则通过旋涂及揭膜等工艺加工出与硅模板图案相反，即具有棱锥凸起阵列的PDMS薄膜。棱锥织构PDMS薄膜加工尺寸如表1所示。图13a和13b分别为样品B和C的棱锥织构SEM图。