《表1 材料参数：复合材料结构表面薄膜热流传感器传热分析及性能优化》

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《复合材料结构表面薄膜热流传感器传热分析及性能优化》

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采用DC3D8线性传热单元：所有单元的长度和宽度均为1?m；热阻层中温度梯度较大，单元高度设为0.5?m，敏感层部分较薄，单元高度设为0.25?m；基底部分的单元高度设为1?m；结构部分的单元厚度设为10?m。模型总单元数量小于1000，具有很高的计算效率。本文采用的热阻层、敏感层、基底和测量结构材料分别为非晶Si O2、Pt-Pt Rh合金，Al2O3和C/Si C复合材料，材料热参数在表1中列出。