《表1 不同质量银纳米颗粒掺杂的叠层薄膜表面粗糙度均方根值》

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《表面等离子体共振对有机太阳能电池性能的影响》

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ITO/Ag NPs/MoO3叠层薄膜的AFM图像如图3所示。其中图3(a）为未掺杂银纳米颗粒的MoO3薄膜的3D形貌图，图3(b）～图3(e）分别是蒸镀0.05 mg、1 mg、2 mg和3 mg银退火再蒸镀MoO3薄膜的3D形貌图，相应的表面粗糙度均方根（RMS）值汇总如表1所示。由于MoO3薄膜采用真空热蒸发法制备，薄膜表面并不平整，其RMS值为3.42 nm。银纳米颗粒掺杂使得RMS值增大，说明银纳米颗粒的掺杂对MoO3薄膜表面的粗糙度产生一定的影响。掺杂0.05 mg的银纳米颗粒时，由于银纳米颗粒尺寸较小且分布稀疏，MoO3薄膜覆盖在银纳米颗粒上时，对薄膜表面粗糙度的影响较小，RMS值为3.57 nm。掺杂1 mg银纳米颗粒时，银纳米颗粒的尺寸增大，平均高度增大，对于MoO3薄膜的形态影响增大，RMS值达到3.89 nm。当掺杂质量分别为2 mg和3 mg时，虽然银纳米颗粒的尺寸增大，但由于银纳米颗粒分布变得密集，MoO3表面变得平缓，RMS分别降至3.53 nm和3.58 nm。