《表4 不同温度下薄膜的均方根粗糙度值》

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《温度对电子束沉积Nb_2O_5薄膜性能的影响》

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当所测区域确定时，则N、zn和-z随之确定，Rq可以由公式（5）计算出来。Rq表示所测量范围内所有点的均方根值，Rq值越大薄膜形貌越粗糙。计算所得在100℃、200℃和300℃温度下沉积的氧化铌薄膜均方根粗糙度Rq如表4所示。