《表1 工作台参数：基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计》

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《基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计》

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图2为工作台系统的结构配置，其基本参数如表1所示。8个无力矩波纹的单极型音圈电机对称地布置在工作台四周。为了抑制工作台的热变形，将每个带有线圈的磁轭固定在基座上，并将每个定子固定在工作台上。由5个真空预加载多孔轴承悬浮的移动工作台可以放置在水平基座上。移动工作台和水平基座的主要材料是氧化铝陶瓷（Al2O3）。因此，系统中不存在滞回、齿隙和热漂移等非线性行为。整个工作台由主动隔振系统支撑，如图3所示。