《表7 不同目数磨轮研磨后晶圆3点压力实验断裂力》

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《晶圆减薄表面损伤层对断裂强度影响的研究》

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本实验共6组，每组取4种磨轮机械磨削后的晶圆，利用全自动划片机选用优化后的划片参数划成15毫米宽的条状，根据国军标548B中的芯片检验要求对样品进行检验，选取符合要求的样品作为本实验样品。本实验选用一个具有2个固定支撑点的工装用于试样的支撑和加载，两固定支撑点的距离为41 mm。通过万能试验机将其压断测量其断裂力，试验机压头下降速度为0.5 mm/min。通过上述断裂强度公式计算样品的断裂强度，断裂力测量数据见表7，断裂强度计算结果见表8。