《表3 实验三结果:用于晶圆对位标记识别的模板匹配算法研究》

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《用于晶圆对位标记识别的模板匹配算法研究》


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该实验的模板尺寸是与待匹配区域相同大小的模板,对同一图像分别采用基于区域相关和基于特征的匹配算法进行匹配,匹配结果如表3所示。