《表3 应用验证的两种抛光工艺实验参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

对图8中的试件进行7个周期的应用抛光实验。为了提升抛光效率，前3个抛光周期为粗抛，剩下4个周期进行精抛，这两种抛光工艺参数如表3所示。实验采用光栅型抛光轨迹，采用结构光进行检测加工后的面形数据。