《表1 硅片传输机器人连杆参数》

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《机器人无力传感器主动柔顺控制研究》

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SCARA结构的硅片传输机器人及连杆参数如图3和表1。机器人的驱动和传动系统由电机、减速器、皮带组成，具有伸缩、旋转和升降3个自由度。机器人的连杆长度、关节角具有耦合关系，使得伸缩时保持直线运动。