《表2 ICP刻蚀不同时长时的孔径与刻蚀速率统计表》

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图3（a）给出了在ICP刻蚀时AAO孔径随时间的变化曲线，刻蚀时间以30 s的梯度从0 s增加到270 s，从图中可以看出随着刻蚀时间的延长，AAO的孔径逐渐增大。当刻蚀时间超过270 s时，AAO模板的侧壁会逐渐被破坏。孔径增大的同时孔径增大的速率也在加快，即刻蚀速率也逐渐增大，如图3（b）和表2所示。刻蚀速率增大的主要原因与刻蚀过程的物质输送机制[29]有关，随着孔径的增大，孔道结构的深宽比逐渐减小，刻蚀反应气体能够更好地流通到结构底部，反应生成的产物运输阻碍也减小，易于从结构中排出。