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《表1 射频功率调整对刻蚀速率的影响的试验数据》
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试验数据如表1所示。
图表编号
XD0017250800 严禁用于非法目的
绘制时间
2018.03.15
作者
孙斌
绘制单位
江阴新顺微电子有限公司
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