《表3 不同功率下各刻蚀线的典型效果》

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《激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究》

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在刻蚀速度都是500 mm/s的情况下，通过调节电流值来调节激光的功率，对ITO导电薄膜进行划线刻蚀，刻蚀刀数为1次。电流值分别为5.0 A、5.5 A、6.0 A和6.5 A，此时激光的频率为30 KHz，脉冲为20 ms，上述工艺重复考察了5次以上。最后，使用台阶仪测试出各划线的刻蚀深度，再使用万用表测试划线两边的电阻值，以判断是否刻断状态，将典型的考察结果记录在表3中。可以发现，随着功率的升高，刻蚀深度越来越深，当刻蚀深度接近ITO薄膜厚度时，可以做到划线两边电阻值>200 MΩ，一般认为通断状态为断路。在6.0 A以上时，刻蚀深度接近ITO薄膜的厚度，此时电阻值稳定>200 MΩ，符合实际应用工艺需求。