《表4 不同划线下各刻蚀线的典型效果》

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《激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究》

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激光沿着预设图案进行一次扫描即为刻蚀1刀，而对相同图案进行N次扫描则为刻蚀N刀，记为刻蚀刀数。设定刻蚀速度为500 mm/s，电流为6 A，对ITO导电薄膜进行刻蚀划线，考察刀数包含1～7次，上述工艺重复考察了5次以上。最后，采用台阶仪测试各划线的刻蚀深度，并对其刻蚀后沟槽的样貌进行分析，典型的刻蚀效果如表4及图3所示。