《表4 不同碱刻蚀方式下的配比情况》

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《单晶硅片KOH碱刻蚀工艺研究》


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近年来,发展出了新的刻蚀辅助添加剂方式进行刻蚀,在原有的KOH配比基础上加入部分添加剂,可以大幅度减少KOH的使用量。具体配比如表4所示。