《表1 各种元素在标准状态下的刻蚀速率》

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《大功率脉冲氙灯用稀土钨电极工作表面分析》

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根据thermofisher公司数据库中标准样品在标准状态下测试的刻蚀速率如表1所示，可以推算出实际实验条件下的刻蚀速率。标准条件为单粒子（Ar+）模式，离子束能量3keV，束流1μA，刻蚀面积1mm×1mm。