《表1 射频功率发生器输出功率准确度的实验数据》
射频功率发生器启动后,将按照事先预置的开环初始控制量输出一定功率,并且将射频功率检测器检测的当前功率值与设置目标值进行对比,然后根据相应的PID参数,运用位置式数字PID算法,调整当前控制量以便输出与设置目标值更为接近的射频功率。为了测试输出功率准确度,我们同样采用美国Bird公司的功率计4421,功率探头配备4027A10M,负载采用北京贝尔德科技有限公司的DLC-3000W干式风冷假负载,我们定义输出功率准确度是实测功率值与设置目标值之间的差值与设置目标值的比值,由此得到如表1所示的测试结果。
图表编号 | XD0029968800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.02.20 |
作者 | 李勇滔、崔晨、孙小孟、林亭廷、赵丽莉 |
绘制单位 | 中国科学院微电子研究所、北京泰龙电子技术有限公司、中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |