《表2 不同刻蚀时间下硅片塔基底座尺寸表》

《表2 不同刻蚀时间下硅片塔基底座尺寸表》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《单晶硅片KOH碱刻蚀工艺研究》


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在不同的刻蚀时间下,刻蚀后硅片表面塔基底座尺寸不一样,测量尺寸如表2所示。