《表2 不同功率下ZnS薄膜的晶体结构结构参数》

《表2 不同功率下ZnS薄膜的晶体结构结构参数》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《ZnS溅射功率对Cu_2ZnSnS_4薄膜附着性及太阳电池性能的影响》


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式中:cij是弹性常数,对于六方晶系结构Zn S,c1 3=104.2 GPa,c11=208.8 GPa,c12=119.7 GPa,c33=213.8 Gpa[21]。根据式(1)和式(2),得到Zn S薄膜的残余应力均为压应力,并随着功率从50 W增加到140 W,压应力增加了一个数量级。