《化合物半导体工艺》
作者 | 编者 |
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- 半导体工艺化学
- 1991 南京:东南大学出版社
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- 1982 天津:天津科学技术出版社
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- 1986 上海:上海科学技术出版社
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- 半导体工艺化学 工艺原理部分
- 1983 天津:天津科学技术出版社
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- 半导体器件工艺原理
- 1985 上海:上海科学技术出版社
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