《表1 方阻值与AZO薄膜厚度关系》

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《低压驱动高阻值层液晶透镜》

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AZO薄膜厚度与透过率的关系曲线如图2，可知，随着AZO薄膜厚度的增加，在可见光区域，薄膜透过率均在85%以上.测试结果表明，AZO薄膜对液晶透镜的透过率影响不大.方阻值与AZO薄膜厚度关系如表1，可知，当AZO薄膜厚度为20nm时，薄膜方阻在1011量级之上，表明薄膜表面的连续性不佳；当AZO薄膜厚度大于50nm时，薄膜方阻都在107量级，薄膜导电性变好；当AZO薄膜厚度在30～40nm之间时，薄膜方阻在108量级，当工作电压施加在液晶透镜驱动电极上时，有利于工作电压可沿着透镜单元的驱动电极边缘到透镜（镂空孔）中心呈梯度下降，形成均匀梯度下降的电场，有利于液晶分子梯度偏转.