《表4 轮廓误差：X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

（μm)

由图10～图12及表4可知，X-Y两轴运动平台在跟踪大曲率复杂轨迹时，主动补偿结构下系统轮廓误差平均值、最大值、标准偏差较交叉耦合结构分别降低了15.5%，11.2%，6.5%，此结论与仿真结果一致。