《表2 直线电机参数：X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿》

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《X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿》

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为验证主动补偿结构的可行性，在MAT-LAB/Simulink环境下进行X-Y两轴运动平台的仿真，其中X-Y运动平台的直线电机参数与实际样机一致，两台电机的参数并不相同，因此对应的控制器参数也不同，具体参数详见表1、表2。