《表1 离子溅射泵的控制命令》

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《S7-1200在医用重离子加速器上的应用》

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离子溅射泵的物理接口为RS232，波特率为2 400～19 200 Bd/s，可通过面板设定，无开始位，8个数据位，无奇偶校验，1个停止位。离子溅射泵的控制命令为ASCII码，对应的16进制的命令见表1。