《表1 微型溅射离子泵的参数设置表》

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《微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究》

微型溅射离子泵工作时空间充入N2，上下阴极板均为0 V接地，泵的工作参数设置如表1所列。

图表编号	XD00217399500 严禁用于非法目的
绘制时间	2021.02.01
作者	耿健、郭美如、王晓冬、张世伟、成永军、孙雯君、黄海龙、李海涛、任正宜、吴成耀
绘制单位	东北大学、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、东北大学、东北大学、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、东北大学、东北大学、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
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