《表2 二自由度微定位平台的尺寸参数》

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《基于二级杠杆机构的二自由度微定位平台设计与分析》

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为了验证理论分析结果的准确性，利用有限元分析软件Workbench对二自由度微定位平台的位移放大倍数、静力学特性和动力学特性进行仿真验证。二自由度微定位平台的材料为铝合金7075-T6(SN），其弹性模量E=72 GPa，泊松比μ=0.33，屈服强度σ=505 MPa。二自由度微定位平台的尺寸参数如表2所示。