《表3 前六阶固有频率表：新型三自由度微操作平台的动力学性能研究》

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《新型三自由度微操作平台的动力学性能研究》

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前六阶模态分析的固有频率数值，如表3所示。式（10）得到的固有频率的理论计算结果93.83Hz与表3的有限元模态分析中第一阶模态分析阵型的固有频率96.218Hz相比差值约为2.388Hz，误差率为2.54%。产生误差的原因可能是由于电脑配置的限制，在进行网格划分的时候尺寸不够细致导致与理论计算产生一定的误差，以及在动力学分析的过程中放大机构的转动角度进行了简化等原因使得理论计算结果与仿真结果存在一定的偏差。但利用ANSYS Workbench进行的动力学模态分析中一阶固有频率的仿真结果验证了理论分析的有效性和正确性。另外由于压电陶瓷驱动器的固有频率大约在20Hz以下，从固有频率的理论计算以及ANSYS Workbench模态仿真分析中前六阶模态阵型分析结果可知该3-PRC柔性并联微纳米操作平台可以在安全的环境下工作，保证了平台具有较好的抗干扰能力。