《表3 机床整机前六阶模态的固有频率》

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《太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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在慢波结构微铣削装置的静力学分析基础上使用ANSYS的modal分析模块进行模态分析，先对大理石底部支撑面进行fixed约束，限制6个方向上的自由度，来模拟装置实际工作的边界条件。得出优化前后前6阶模态固有频率如表3所示。