《表4 机床整机前六阶模态的固有频率》

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《太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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此时装置的前六阶固有频率如表4所示。对比表3、4中刚度值分别为0、300N/μm、无穷大这3种情况下装置的固有频率数值。可以发现空气隔振垫能有效改善机床的固有频率分布情况，使装置的抗振动能力增强，稳定性得到大幅改进。