《表2 材料属性：太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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《太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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根据上述的简化原则，通过建立该装置的分析模型，如图2 (a）所示。龙门架和机床床身材料为花岗岩，空气隔振垫外壳、铰接方钢、过渡板选用结构钢；运动平台中丝杠、导轨、滑块选用碳钢；导轨外壳、工作台、主轴夹持座及其余连接件选用硬铝合金，各材料参数如表2所示。