《表1 机床技术参数：太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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《太赫兹慢波结构微铣削装置的优化设计及模态分析》

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该装置采用RTTTR型运动连传递方式，五轴分别为直线运动轴X轴、Y轴、Z轴和摆头B轴、以及旋转台C轴。X-Y轴以十字堆叠的形式带动工作台及其上的旋转轴A轴和刀具磨损在线监测装置，CCD相机对刀装置做平面二维运动。Z轴与C轴配合运动实现微铣削主轴在XZ平面上的移动，完成互相作用通道、射频输入输出口等复杂形状的加工。具体结构形式如图1所示。床身采用热变形小、隔振性能较优的花岗岩，使其具有较好静动态特性，各运动平台均根据慢波结构件要求的结构参数精度确定出相应的指标参数，来实现对慢波结构的精密制造，运动平台参数见表1。