《表2 运动平台前六阶固有频率和振型》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《超高加速度宏微运动平台的多工况动力学特性研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

超高加速度宏微运动平台在进行超高加速度运动定位时必将是一个快速的动态过程，在各个动态工况中，必须要考虑平台固有频率和振动模态，以避免平台与其他机构发生共振现象，影响最终超精密定位。本文采用有限元方法，获得平台前六阶固有频率和模态，其相对应频率和振型如表2所示。平台第一阶的固有频率为1 163 Hz，模态如图8所示，远高于音圈电动机的驱动频率，可有效避免平台与音圈电动机发生共振。