《表1 定位平台参数：用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证》

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《用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证》

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选用商业软件ANSYS对定位平台进行了有限元仿真。定位平台所选用材料为SKD11，屈服应力为120 MPa，杨氏模量为210 GPa，泊松比为0.3。定位平台的结构尺寸参数示于表1中。