《表3 三角波追踪误差：高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》

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《高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》

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注：“*”为原论文未给出数据。

追踪三角波信号的实验是衡量微动台带宽大小的一种重要方式[3，9-10，14-15]。在本文的追踪试验中，输入信号采用幅值为1～9V，频率包括10，100Hz及1，2，3，5kHz的三角波，系统的采样频率为50kHz。追踪实验结果如图9所示，其中实线为实际轨迹，虚线表示理想轨迹。值得一提的是追踪实验中存在0.1ms的延时，已在系统进行补偿。表3列出了系统在不同频率三角波下的追踪性能。由实验结果可知，该平台在1kHz以下的三角波频率拥有较好的追踪性能；在输入三角波频率达2kHz以上，系统的最大误差与均方根误差明显增大，与理想轨迹出现偏差，但仍可追踪得到三角波信号的轨迹。此外，表3列出了开环状态下Yong[3]、Kenton[10]平台的追踪误差，可以看出在最大误差相差不大的情况下，此平台的均方根误差在开环条件下具有一定的优越性。