《表1 柔顺精密微动平台组合方案》

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《基于熵权—广义线性模型与满意度的柔顺精密产品非正态质量特性稳健设计》

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根据上述分析确定模型中的设计参数和噪声因子，采用全因子设计安排4因素2水平试验方案解决建模的样本选取问题，并采用有限元分析方法获取柔顺精密微动平台柔度的相关数值，结果如表1所示。对柔顺精密微动平台采用Solid45单元建立有限元分析模型，柔性元件部位网格划分的最小单元设置为0.2mm，刚性杆件网格划分的最小单元为0.5mm，在输入端输入压力为15N的载荷，则柔顺精密微动平台有限元分析模型如图7所示，柔顺精密微动平台柔度数值模拟结果如表1所示。