《表2 微动平台的位移增幅比、转动角度和共振频率》

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《具有高位移增幅特性的柔顺并联式x-y-θ微动平台》

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对微动平台的输入端1和2同时施加20μm的位移，得到y方向平动输出位移为205.43μm，如图4（a）所示．因此，平动时微动平台的位移增幅比为10.3，与式（5）计算得到的理论位移增幅比10.5相比，相对误差为1.9%，如表2所示．对微动平台的输入端2、4同时施加20μm的位移，得到总输出位移为262.32μm，计算得2727.8μrad，与理论转动角度3076.5μrad相比，相对误差为12.8%.