《表1 柔顺平台性能的理论结果与仿真结果对比》

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《高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》


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将理论的优化结果在solidwork 2016上进行三维建模,在ANSYS WORKBENCH 16.0中导入平台的三维模型,对平台的静态性能和动态性能进行仿真分析,主要的性能指标如表1所示。由表1可知,理论分析与仿真分析的刚度误差、行程误差以及固有频率误差分别为1.25%,0.20%以及3.21%,误差均在可接受的范围内。