《表2 理论与仿真结果：用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

首先，通过ANSYS对定位平台进行静力学分析仿真以验证分析模型的输出刚度。对定位平台施加固定约束，在一个输入端施加F=100 N的稳定力以查看相应的输出位移。静态分析结果云图如图2所示。由静态分析结果可以看出定位平台X与Y轴的刚度为5.46 N·μm-1，和理论计算的相对误差分别为5.5%。Z轴的刚度为2.242 N·μm-1和理论计算的相对误差分别为18%。从有限元模型和分析模型获得的结果之间的比较结果见表2，显示两者之间具有良好的一致性，位移台设计可靠。