《表2 两种探针的参数以及实验与理论品质因数》

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《轻敲模式下AFM动力学模型及能量耗散机理研究》

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实验用探针经SEM显微镜和光学显微镜测量，无针尖探针长宽高分别为125μm，40μm，4μm，锥形针尖探针长宽高分别为135μm，40μm，4μm.依据式（15）～式（17）可以将探针简化为如图3所示的一维弹簧振子模型并得到简化后的等效刚度ke、等效质量me，以及其理论一阶固有频率fnt如表2所示.根据图8和图9扫频实验结果，可以得到无针尖探针和锥形针尖探针实验一阶固有频率fne分别为330 kHz和269 kHz.