《表1 灵敏度S与品质因数FOM与部分文献的比较》

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《带有同心双圆环谐振腔的MIM波导的Fano谐振特性研究》

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公式（11）和（12）分别是指介质材料每单位折射率的改变引起的Fano峰值波长的改变量和透射率的相对改变量，其中n用来描述介质材料的折射率。图6 (b）给出了三个Fano峰值波长与介质材料折射率变化的依赖关系，插图是求得的品质因数FOM。从图可以看出，三个Fano传输峰的波长的改变与折射率的增加近似呈线性关系，计算结果表明，Fano峰a、b、c对应的灵敏度分别为950nm/RIU，1 030nm/RIU和1 400nm/RIU，最大的品质因数FOM高达1 380。通过与已经报道的文献相比较，本文所设计波导结构作为折射率传感器的灵敏度和品质因数都表现出较好的性能，比较结果如表1所示。